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东京电子 OYDK-155 41V 相关信息

东京电子（Tokyo Electron Limited, TEL）是半导体制造设备领域的领先企业，其产品涵盖刻蚀、沉积、清洗等关键工艺设备。关于型号OYDK-155 41V的具体信息如下：

设备类型与用途

• OYDK-155 41V可能是东京电子的某类专用设备或组件，常见于半导体制造工艺中的辅助模块。
• 类似型号通常用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）或刻蚀设备的电源或控制系统。

技术参数

• 电压规格：41V 表明其工作电压为 41 伏，可能用于驱动特定工艺腔体的电极或射频电源。
• 兼容性：需匹配东京电子特定机台的接口协议，如用于 ULTRUS™ 或 TRIAS™ 系列设备。