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3D打印SiC陶瓷示意图

一、碳化硅的制造技术与方法

碳化硅（SiC）作为第三代宽禁带半导体的核心材料，因其优异的物理和化学性能，在高温、高频、大功率器件领域展现出巨大潜力，其制备涉及一系列精密且技术含量高的工艺。

1. 单晶制备与外延技术：

目前主流是物理气相传输法（PVT）。其目标是制备大尺寸、低缺陷的单晶衬底。例如，国家的研发计划要求6英寸碳化硅单晶生长装备的最高温度≥2400℃，控温精度需在±1℃以内，以保证晶体的高质量生长。

化学气相沉积（CVD） 则主要用于在衬底上进行高纯度、低缺陷的外延层生长，这是制造高性能器件的基础。多热源多向流体系 等新型合成技术也被研究用于提高产量和质量、降低能耗。

2. 陶瓷材料制备：

对于非半导体领域的碳化硅陶瓷（如用于反射镜、制动盘），常用无压烧结、热压烧结（温度通常在2000-2200°C）和反应烧结。增材制造（3D打印） 是制造复杂形状碳化硅陶瓷构件的前沿技术，例如通过高温熔融沉积结合反应烧结，但当前面临致密度不高、硅残留较多（影响高温性能）的问题。

中科院上海硅酸盐研究所开发的气相与液相联用逐次渗硅方法，有效降低了硅含量（至10vol%左右），提高了致密度和力学性能（抗弯强度可达465MPa）。

3. 器件制造工艺：

碳化硅器件的制造流程与硅半导体类似，但许多关键工艺条件更为苛刻。

光刻与刻蚀：需要更精细的图形化处理。

离子注入与激活：碳化硅的高键能要求更高的注入能量和退火温度（通常高达1600-1700°C）以实现掺杂剂的激活和晶格修复。

栅氧工艺：这是碳化硅MOSFET面临的重大挑战。碳化硅表面更易形成界面态，导致沟道迁移率下降和阈值电压不稳定。需要精确的氧化工艺、退火工艺及界面钝化技术来改善。

金属化与电极形成：需在高温下形成稳定的欧姆接触和肖特基接触。

SiC复合衬底及其各项性能

二、规模化生产工艺与核心参数

碳化硅产业的规模化生产仍在不断提升和成熟中。

1. 衬底：

目前6英寸衬底已实现规模化生产，8英寸衬底已具备量产能力，12英寸处于研发阶段。核心参数包括微管密度（需<0.1-0.3 cm⁻²）、电阻率（导电型<0.025 Ω∙cm，半绝缘型≥1×10¹⁰ Ω∙cm）、结晶质量（XRD摇摆曲线半峰宽）和翘曲度（WARP<30μm）等。

2. 外延：

外延工艺要求控制膜厚均匀性（掺杂浓度不均匀性≤3%）、表面缺陷（形貌缺陷密度≤0.5个/cm²）和生长速率（最高≥50μm/h）。

器件制造：车规级SiC MOSFET要求阈值电压≥3V，沟道迁移率≥25 cm²/V·s，比导通电阻＜3 mΩ·cm²，并需满足短路耐受时间≥5µs。

3. 碳化硅陶瓷材料关键性能指标的典型值或要求：

三、质量控制要点与性能检测

质量控制贯穿于制备全过程。

1. 质量控制要点：

原材料纯度：高纯度碳化硅粉末和原材料是基础。

缺陷控制：包括微管、位错（螺位错、基平面位错）、堆垛层错等晶体缺陷，以及外延过程中的三角形缺陷、胡萝卜缺陷等。

表面质量与面形：控制衬底和外延片的表面粗糙度（Ra<0.2nm）、总厚度变化（TTV）、翘曲（Warp） 等。

掺杂均匀性与精度：保证电学性能的一致性。

栅氧界面质量：对于MOSFET至关重要。

2. 检测技术与设备：

结构表征：X射线衍射（XRD） 用于分析结晶质量和晶型（如4H-SiC比例）；拉曼光谱 用于物相识别和应力分析；扫描电子显微镜（SEM） 和 透射电子显微镜（TEM） 用于观察表面和微观结构、缺陷2。

电学性能测试：霍尔测试 测量载流子浓度、迁移率；CV测试 分析掺杂浓度分布；IV测试 评估器件导通特性、击穿电压等。

表面与界面分析：原子力显微镜（AFM） 检测表面形貌和粗糙度；X射线光电子能谱（XPS） 分析界面化学状态。

无损检测：对于陶瓷材料，X射线计算机断层扫描（X-CT） 可用于精准、定量化地表征内部制造缺陷。

碳化硅颗粒电镜图

四、理论与应用研究的重点难点

碳化硅技术和产业的发展仍面临诸多挑战。

1. 基础理论：

碳化硅超级结器件的电荷平衡理论、高温高剂量离子注入后的活化机理、栅氧界面态的形成机理与钝化原理、4H-SiC中各种缺陷的形成能及其对器件可靠性的影响机制等仍需深入研究。

2. 技术瓶颈：

大尺寸、低缺陷衬底制备：尤其是8英寸及以上衬底的量产和质量控制。

栅氧可靠性问题：仍是制约SiC MOSFET性能和可靠性的核心难题。

高能离子注入与高温退火的工艺优化，仍有待进一步改进。

成本控制：衬底制备时间长、良率不高，以及后续加工难度大，导致成本依然较高。

3. 应用挑战：

驱动与保护电路设计：碳化硅器件的高速开关特性带来的寄生参数、电磁兼容（EMC） 和过压保护问题。

模块封装技术：需要低寄生电感、高散热性能、高可靠性的封装方案。

车规级认证与可靠性：满足严苛的汽车电子标准和要求需要长时间的验证。

碳化硅单晶

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