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Novellus 03-259745-00 电缆组件概述

Novellus 03-259745-00 是用于半导体制造设备的电缆组件，通常与 I/O（输入/输出）、WTS（晶圆传输系统）及 MC3 平台控制器配套使用。该组件在设备通信和信号传输中起关键作用，确保各模块间的稳定连接。

功能与用途

• I/O 连接：负责控制器与外部设备的数据交换，支持数字和模拟信号传输。
• WTS 集成：确保晶圆传输系统与主控单元的同步，优化晶圆搬运流程。
• MC3 平台支持：兼容 Novellus MC3 系列控制器，用于沉积或蚀刻设备的控制。

技术规格（典型）

• 接口类型：多针脚连接器，具体规格需参考设备手册。
• 长度与屏蔽：定制化长度，带电磁屏蔽设计以减少信号干扰。
• 兼容设备：适用于 Novellus 200mm 或 300mm 晶圆处理工具。

安装与维护

• 安装前需断电操作，确保插头与端口对准，避免强行连接导致针脚损坏。
• 定期检查电缆外观磨损或弯曲变形，必要时使用万用表测试通断。