JCMsuite应用:孤立线栅

张开发
2026/4/18 12:09:55 15 分钟阅读

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JCMsuite应用:孤立线栅
这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同但代替周期性排列的线现在使用单线。因此二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件而是采用水平和垂直方向上的透明边界。光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度S偏振光照明的近场强度P偏振光照明的近场强度后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。在实验中远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。PostProcess {OpticalImaging {InputFileName project_results/transmitted_fourier_transform.jcmOutputFileName project_results/image_fourier_transform.jcmOpticalSystem {SpotMagnification 2.0}}输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置)用于S偏振照明。线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)

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