一、校准核心原理:单边单信号的时延补偿逻辑
单边单信号校准法通过引入单一标准参考信号(如示波器内置校准信号、外部高精度阶跃信号),精准测量并补偿示波器采集通道的固有时延偏差。其核心目标是消除三类关键时延误差,保障高速信号时序测量的准确性:
物理时延:由探头线缆(如1m 50Ω同轴电缆时延约5ns)、示波器内部放大器等硬件传输路径引入的固定时延差,属于硬件固有特性误差;
寄生参数时延:探头与被测件接触产生的寄生电容(典型值2-10pF)会延缓信号边沿变化,导致测量时序偏移;
触发偏移:示波器内部触发电路与信号采集通道的工作时序不同步,引发触发时刻与实际信号时刻的偏差。
校准核心指标要求:单通道时延误差≤1ps(针对10GHz及以上信号),触发与采集通道时间差趋近于0,确保PCIe 5.0(32Gbps)等高速信号的时序测量精度。

二、全流程实操:五步法从准备到验证
(一)准备阶段:工具与环境规范要求
校准前需完成工具选型与环境调试,确保基础条件满足精度要求,具体参数如下表:

(二)信号连接:单端校准的链路搭建要点
根据信号源类型分为内置信号校准(最常用)和外部信号校准(高频场景)两种方式,具体操作如下:
1. 内置信号校准
将探头探针精准连接至示波器“CAL”输出端,接地针直接对接校准信号地端(严禁使用长接地夹,避免引入电感时延);通道参数设置:采用DC耦合模式,垂直刻度调节至信号占满屏幕80%高度,时基档位设置为显示2-3个信号周期(如1kHz信号对应500μs/div)。
2. 外部信号校准
将外部阶跃源输出端连接至50Ω功分器,一路信号接入示波器待校准通道(CH1),另一路接50Ω匹配负载;关键注意事项:两路连接电缆长度需严格一致(误差≤1mm),杜绝因线缆长度差异引入额外时延差。
(三)自动校准:主流示波器操作范式
主流高端示波器均配备自动校准功能,以下以泰克DPO73304SX和罗德与施瓦茨RTP为例,说明标准操作流程:
1. 泰克示波器
按下“Probe”按键→在通道列表中选中待校准通道→进入“Probe Setup”菜单→选择“Delay Calibration”选项;点击“Auto Cal”按钮,示波器将自动识别信号50%阈值点与内部触发的时间差,计算并存储时延补偿值,校准完成后界面显示“Calibrated Delay: XX ps”。
2. 罗德与施瓦茨示波器
进入“Measure”菜单→选择“Time”子菜单→点击“Delay”功能;设置触发源为待校准通道,启用“Statistics”统计功能,系统将自动采集1000个样本的时延均值,并将该值写入时延补偿参数库,完成自动校准。
(四)手动校准:无自动功能场景的补偿方法
针对无自动校准功能的示波器,或需更高自定义精度的场景,采用手动校准方式,步骤如下:
基线校准:将探头探针直接接地,启动示波器采集功能,记录当前触发基线(即时间零点);
时延测量:断开接地,接入标准校准信号,使用示波器光标功能标记信号上升沿的50%阈值点,读取该点与时间零点的时延偏差(如测量值为120ps);
补偿输入:进入示波器“Vertical”垂直设置菜单→选择“Deskew”时延修正功能,手动输入测量得到的时延偏差值(如+120ps),确认后完成时延偏移修正。
(五)精度验证:三重验证法保障校准有效性
校准完成后需通过三重验证确认精度,具体验证标准与方法如下:
时间间隔验证:接入100MHz标准信号,测量其周期值,要求测量误差≤5ps(如理想周期10ns,实测值需在9.997-10.003ns范围内);
触发同步验证:观察校准信号的触发时刻与波形显示起点的偏移量,要求偏移量≤1ps;
高频相位验证:接入10GHz正弦信号,测量输入信号与校准通道的相位差,换算为时延误差需≤2.8ps(对应0.1°相位差,相位-时延换算公式:时延=相位差(°)×10^12/(360×频率(Hz)))。

三、设备适配与场景化方案
(一)按示波器带宽分类的适配方案
不同带宽的示波器对校准信号、操作要求不同,需针对性选择方案,具体适配参数如下表:

(二)常见问题与解决方案
校准过程中易出现多种问题,需结合根源分析采取针对性措施,具体如下表:

四、关键注意事项
探头适配要求:有源探头需单独校准(每支探头的时延特性存在个体差异),无源探头需额外补偿线缆容性时延,避免混用未校准探头;
校准周期规范:每次更换探头、调整电缆长度,或环境温度变化超过10℃时,必须重新执行校准流程;常规使用场景建议每月校准一次;
高频操作禁忌:10GHz以上信号校准禁止使用长接地夹(接地电感会引入≥20ps时延误差),需采用弹簧接地针或磁吸式短接地件,缩短接地路径。